半導體晶圓製程一刻千金，一旦生產設備發生故障或失誤，造成之損失難以估計。例如真空泵浦，是低壓化學氣相沈積(LPCVD)爐管、離子植入機等設備之驅動元件，若突然故障停機，會造成真空度不足，導致大氣回灌、微粒子過量，而使爐內整批晶圓報廢，是各家半導體廠商都會密切監控的項目。對此，固德科技與凌華科技聯手推出真空泵浦智慧監測解決方案，化解業界長期存在的痛點，協助提升產能與良率。