凌華科技智慧真空泵浦監測方案,完美消弭半導體製程風險

舉凡爐管、離子植入機,係以真空泵浦 (Dry Pump) 為驅動元件,內含轉子電機、魯氏泵浦。真空泵浦原廠提供的監控系統,僅涵蓋壓力、流量、溫度及電流,未含振動,導致用戶無法掌握足夠資訊,甚難提前探知失效預兆;為此凌華協助客戶打造智慧真空泵浦品質檢測解決方案,以協助半導體廠化解長期痛點。
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    掌握故障徵兆,避免無預警停機。
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    延長良品的工作時數 (Lifetime),減輕維護成本。
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    數據可連上雲端,與企業私有雲結合作進一步分析。

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智慧真空泵浦品質檢測解決方案,協助用戶評鑑真空泵浦的健康狀態,並透過數據管理來優化調整Lifetime,進而以最合理的維運成本負擔實現預知保養,並可確實檢視委外維護效果,大幅消弭無預警停機的影響因子。